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，據(jù)捷佳偉創(chuàng)官方公眾號(hào)報(bào)道，常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司國(guó)內(nèi)首臺(tái)完全自主研發(fā)的電子級(jí)硅芯清洗設(shè)備目前已經(jīng)成功下線，將于近日部署至某合作客戶處。

據(jù)悉，此款硅芯清洗設(shè)備是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蝕清洗設(shè)備，用于清洗硅芯表面有機(jī)物、氧化物和金屬離子，采用堿洗、酸洗、超聲、機(jī)能水等工藝，產(chǎn)品可用于高純光伏硅片和半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)制程，清洗后總表金屬≤0.2ppbm。

IT之家從官方公眾號(hào)得知，該產(chǎn)品的主要技術(shù)特點(diǎn)如下:

• 材料升級(jí)

• 與德國(guó) Rochling 合力開發(fā)耐氧化，耐高溫材料用于槽體制作。

• 工藝升級(jí)

• 結(jié)合國(guó)外成熟工藝與機(jī)能水清洗工藝，清洗能力更強(qiáng)。

• 內(nèi)部潔凈升級(jí)

• 內(nèi)部流場(chǎng)的全新設(shè)計(jì)，搭配更高效 FFU、抽風(fēng)通道及酸堿隔離裝置，內(nèi)部更潔凈。

• 結(jié)構(gòu)升級(jí)

• 底部龍門式 Robot 設(shè)計(jì)，運(yùn)載更穩(wěn)定，運(yùn)動(dòng)部件產(chǎn)生的 Particle 可更快排出設(shè)備外。

• 硅芯載體優(yōu)化

• 硅芯載體優(yōu)化，更穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，更小的接觸面積配合旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，清洗更徹底。

• 制作升級(jí)

• 槽體及槽內(nèi)零件多采用折彎制作工藝，減少犄角疙瘩及焊接內(nèi)的藏污納垢。

• 裝配升級(jí)

• 全設(shè)備設(shè)置在千級(jí)潔凈室生產(chǎn)。

官方表示，長(zhǎng)期以來(lái)，電子級(jí)硅芯硅料清洗設(shè)備市場(chǎng)份額都被外國(guó)廠商占有，捷佳偉創(chuàng)作為太陽(yáng)能光伏電池設(shè)備行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)及半導(dǎo)體設(shè)備制造商，將“堅(jiān)持以研發(fā)制造一流專業(yè)設(shè)備，推動(dòng)國(guó)內(nèi)相關(guān)行業(yè)發(fā)展為己任”。

捷佳偉創(chuàng)宣稱，目前官方已實(shí)現(xiàn)表金屬 0.5ppbw 以上等級(jí)的電子級(jí)硅料批量出貨，2024 第一季度將推出 0.1ppbw 以下的產(chǎn)品。

捷佳偉創(chuàng)聲稱，未來(lái)公司將繼續(xù)秉承“技術(shù)領(lǐng)先，管理領(lǐng)先，服務(wù)領(lǐng)先”的發(fā)展戰(zhàn)略，繼續(xù)精進(jìn)光伏電池生產(chǎn)設(shè)備及半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備研發(fā)，并向更廣闊的產(chǎn)品領(lǐng)域和更豐富的技術(shù)路線繼續(xù)發(fā)展，為客戶提供技術(shù)領(lǐng)先、質(zhì)量過(guò)硬、服務(wù)周到的產(chǎn)品。

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